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文章来源:shxj365 发布时间:2024-05-07 03:34:18
多晶硅铸锭炉海宁离子泵的电话加热后工件随炉冷却 C. 井式炉 D. 罩式炉(主要用于退火,加热罩可吊移) E. 底升式罩式炉(罩子固定,升降底座。用作退火之用周期式电阻炉的分类A. 箱式炉 B. 台车炉(分为自行式和牵引式)适用于大型炉子)F. 转筒式炉 G. 密封箱式炉(又称为多用炉这样的结构使炉内气氛对加热元件不会有影响)。(4)可以同时实现红外测温仪和温度传感器的,二者相互配合,使得操作人员能够更方便地了解和操控温场;随着材料的研发,耐高温温度传感器成本的下降,使得红外测温仪完全被取代,使得泡生法实现自动化成为可能。

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以人工方式在单晶炉前将固态多晶硅料一块块地从炉体外转移到石英坩埚内,再进行合炉,真空检漏[1]。整个过程非常缓慢,而且装料过程中要避免硅料碎屑落入热场内。传统装料方法为炉前装料离线装料技术在直拉法硅单晶生产中的应用\引言直拉法(CZ)生产单晶硅是目前单晶硅的主要方法。在单晶生产过程中装料时间(清炉结束到合炉)约为2h追求低成本和率成为每一个企业市场的逐胜之道。其中具有较强的实用性和经济推广价值。1离线装料的工作原理使用一个真空吸盘和一个特制的密封圈与装满多晶硅原生料的石英坩埚密封。新型热屏不仅起到导流筒的作用,了氩气流场,使单晶氧含量下降,而且热屏解决了大直径单晶生长中结晶潜热难以散发的问题,提高了拉晶速率,降低了生产成本。关电源是利用现代电力电子技术,控制关管通和关断的时间比率,维持稳定输出电压的一种电源,关电源一般由脉冲宽度调制(pwm)控制ic和mosfet构成。随着电力电子技术的发展和创新,使得关电源技术也在不断地创新。目前,关电源以小型、轻量和率的特点被广泛应用几乎所有的电子设备,是电子信息产业飞速发展不可缺少的一种电源方式。

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主要部件采用石墨材料和炭毡材料[1]。根据各部分的能,可以大致分为加热系统,传热及支撑系统,导流系统,保温系统等。如加热系统包括加热器,石墨电极,连接螺栓等部件,传热及支撑系统包括石墨坩埚,石英坩埚,托盘,坩埚轴等部件,导流系统包括导流筒等部件,保温系统包括保温盖,保温筒,保温炭毡等部件。热场温度区域的分布,直接影响了拉晶生产是否能顺利进行。并保持在一定温度下进行单晶生长的整个温度场系统直拉硅单晶热场加热器设计分析\1热场及加热器简介直拉硅单晶炉的热场是指为了熔化硅料以及晶棒的拉速和品质。而石墨加热器作为加热系统的核心部件2加热器的工作原理与使用要求。分子泵,真空泵,真空流量计,plc编程,控制屏,离子泵,涡轮分子泵,螺杆真空泵,涡旋高真空泵,提出到2015年光伏发电将达到15GW,发电量200亿千瓦时。核心提示:《规划》明确了七大领域的发展方向,制定了产业发展路线图,提出了各领域发展的标志性目标,提升整体创新能力与拓展市场应用等创新发展重大行动计划,主要政策措施,力图为产业发展指出更加清晰的发展方向。